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RIE反應(yīng)離子刻蝕機是微納加工核心干法刻蝕設(shè)備,通過等離子體物理轟擊、化學反應(yīng)協(xié)同實現(xiàn)材料的各向異性、高精度、高選擇比刻蝕,廣泛用于半導(dǎo)體、MEMS、光電子、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。工作原理:等離子體生成:在真空腔室內(nèi),通過高頻電場激發(fā)刻蝕氣體...
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在半導(dǎo)體、精密電子、制造等領(lǐng)域,電感耦合等離子清洗機(ICP清洗機)已成為不可少的核心工藝設(shè)備。它以電感耦合射頻技術(shù)為核心,通過電離惰性或反應(yīng)性氣體形成高密度等離子體,實現(xiàn)材料表面的超精密清潔、活化與改性,解決傳統(tǒng)清洗技術(shù)無法突破的納米級清...
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在芯片制造的潔凈車間里,一片晶圓經(jīng)過多道工序后,表面覆蓋的光敏材料需要被精確剝離。承擔這項任務(wù)的設(shè)備,通過電離氣體產(chǎn)生化學活性物質(zhì),以氣相反應(yīng)的方式完成清潔工作。等離子去膠機的核心原理建立在等離子體化學基礎(chǔ)之上。設(shè)備腔體內(nèi),氧氣或含氟氣體在...
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氧等離子清洗機是依托等離子體表面處理技術(shù),以氧氣為工作氣體實現(xiàn)材料表面精細化清洗、活化與改性的專用設(shè)備,核心在真空環(huán)境中將氧氣電離為活性氧等離子體,通過等離子體與材料表面的物理、化學作用,去除有機污染物并優(yōu)化表面特性,全程無化學試劑、無二次...
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閃蒸成膜儀是用于薄膜制備的設(shè)備,在材料科學等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。閃蒸成膜儀通過創(chuàng)造真空環(huán)境,降低液體溶劑的沸點,加速溶劑揮發(fā),使溶質(zhì)在基片表面快速沉積并形成均勻薄膜。其核心原理包括:真空干燥:在真空條件下,液體沸點顯著降低,溶劑揮發(fā)速度加快,有利...
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勻膠旋涂儀是一種利用離心力將膠液均勻涂覆在基片上的設(shè)備,常見于各類對于材料表面涂覆的均勻性有嚴格要求的實驗或者制造領(lǐng)域,如半導(dǎo)體材料研發(fā)和制備工藝、生物材料物性分析、化工材料薄膜的制備工藝等。它可以用來制備厚度小于10納米的薄膜,也常用于約...
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土壤有機碳消解儀的核心原理基于氧化還原反應(yīng),通過化學試劑與高溫環(huán)境的協(xié)同作用,將土壤中的有機碳轉(zhuǎn)化為可定量分析的化合物,反應(yīng)完成后,通過分光光度計在585納米波長下測定三價鉻的吸光度,其濃度與有機碳含量呈線性關(guān)系,從而計算出土壤中有機碳的精...
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微波消解罐是微波消解系統(tǒng)中的核心部件,主要用于在高溫高壓條件下對樣品進行消解處理。廣泛應(yīng)用于食品、紡織、塑料、地質(zhì)、冶金、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域的樣品制備,用于土壤、固廢、食品中金屬元素分析等,幫助科研人員和檢測人員將難以分解的樣品快速消解,以便進...